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InvPro

プロセス逆問題解析ソフトウェア

MEMSデバイス形状からプロセスフローとマスク形状を求めます。

  • プロセスフローを逆順に辿ることにより、目的とするMEMS構造に最適な加工プロセスおよびマスク形状を導出
  • マスク形状と加工形状の因果関係およびノウハウはデータベースとして蓄積
  • 開発初期段階の思考錯誤を減らし、ラピッドプロトタイピング・実用化を促進
  • 総合的な設計時間の短縮、MEMS開発の飛躍的高効率化
  • プロセスレシピと、プロセス実行時の環境負荷(CO2排出量換算)の計算が可能
  • プロセスデータを、MemsONEのプロセスエミュレータの結果から取得可能

従来のプロセスシミュレータと違い、プロセスフローを逆に遡りながら解析を行います。

数回の操作を行うだけでプロセスレシピを作製することができます。

初心者でも操作がわかりやすい画面構成になっています。

※ 本ソフトウェアは、MEMS用設計・解析支援システム『MemsONE』のモジュールの1つです。

お問い合わせ/資料請求
株式会社NTTデータ数理システム《MEMS》担当
E-mail mems-info@msi.co.jp
TEL. 03-3358-1701
FAX. 03-3358-1727