1. HOME
  2. 製品
  3. EDA/MEMS
  4. MemsONE
  5. 機能構成

機能構成

主要取り扱い商品

弊社では、MemsONEの豊富な機能モジュールのうち、主に以下の 2 機能を取り扱います。尚、この 2 機能は弊社が開発いたしました。

その他の機能

MemsONEには、上記の 2 機能の他に、以下の機能があります。

  • 機構解析(パンフレット)
    「力学解析」「電磁界解析」「連成解析」「接合解析」から成ります。各機能の詳細はパンフレットを参照ください。

  • プロセス解析(パンフレット)
    マスクレイアウトとプロセスレシピから3次元形状を作成する「マルチプロセスエミュレータ」、基板の2次元断面のエッチングプロファイルの時間変化を解析する「ドライエッチングシミュレータ」から成ります。詳細はパンフレットを参照ください。

  • ウェットエッチング(パンフレット)
    単結晶シリコンの全方位のエッチングレートデータを元に、設定したマスクパターンに対して、3次元エッチングプロファイルの時間変化を解析する機能です。詳細はパンフレットを参照ください。

  • ナノインプリント解析(パンフレット)
    「熱ナノインプリント解析」「光ナノインプリント解析」からなります。詳細はパンフレットを参照ください。

尚、MemsONE全体のパンフレットはこちらにございます。


補足事項

  • フレームワークソフトは、購入商品に必要な機能が装備されます。
  • 材料・プロセスDBは全商品に装備されます。
  • 価格等につきましては、下記の連絡先までお問い合わせください。
お問い合わせ・資料のご請求
株式会社NTTデータ数理システム MEMS担当
E-mail mems-info@msi.co.jp
TEL. 03-3358-1701(9:30~17:30)
FAX. 03-3358-1727