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ソリューション

ParadiseWorld-2を用いてどのような問題を解決できるか、適用事例をご紹介します。

プロセス設計

プロセスエディタ上でプロセスフローを編集できますので、プロセスの順番を入れ替えながら視覚的にフローを組み立てたり、膜厚等のプロセスパラメータを振って望みの形状が得られるかを試行錯誤で試すことができます。
また、形状変化を見ながらプロセスフローをステップ実行することができますので、プロセスフローの可視化ツールとしてご利用いただくことができます。
その他に、新入社員、学生へのプロセス教育にもご利用いただけます。

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レイアウト設計

マスクエディタにより、マスクの論理演算、レイアウトパターンの太らせ、細らせ等の演算を行うことができます。これにより、レイアウトパターンが形状に与える効果をシミュレートすることができます。
また、プロセスフローを変えずにレイアウトを変更することでプロセスをブラックボックスとしたレイアウト設計が可能となります。
なお、近日、3次元形状を元にしたデザインルールチェック(DRC)機能を公開予定です。

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デバイス設計

形状シミュレーションによる形状作成後、オプションの容量・抵抗・インダクタンス計算モジュールによりデバイス特性を計算することができます。これにより、レイアウト・プロセスを元にした正確な形状に対するデバイスの特性が評価可能です。
特に、現実に近い形状の配線の容量や抵抗の計算などは他のTCADツールで計算することが困難ですが、ParadiseWorld-2では複雑な形状であっても安定して正確に容量・抵抗・インダクタンスの計算をおこなうことができます。

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MEMSへの適用

平面マスクパターンの任意に指定された断面および領域に対し、各種プロセスによる加工形状を対話的/連続的に計算します。豊富なMEMS/LSIプロセス工程に対応しておりますので、MEMSだけでなく、LSIとMEMSを一貫して製作するプロセスのシミュレーションも可能です。

MEMS加工形状シミュレーションと容量/抵抗抽出機能のシームレスな連結

静電型MEMSデバイスの設計では、電極間容量の評価が非常に重要です。また、電磁駆動デバイスの設計では、可動部の配線の抵抗を評価することも必要です。
ParadiseWorld-2では、加工形状シミュレーションで得られた形状を用いて、直ちに容量抽出/抵抗抽出を行うことができます。

加工形状シミュレーションと容量抽出/抵抗抽出がシームレスに連結していることで、以下の利点があります。

  • プロセス工程によって生成する実形状を用いることで容量や抵抗の計算が高精度化できる
  • ソリッドモデラより簡便に解析モデルを作成できる

その他

その他、以下の事例に適応できます。

  • 形状評価
  • 容量計算
  • 故障解析
  • 半導体プロセスフロー確認
  • 半導体プロセス/レイアウト教育