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科学技術ソリューション

ナノ・マイクロシミュレーション

当社では,30年以上に渡り,半導体MEMSのようなナノ・マイクロデバイスに係るシミュレーションやツール開発に携わっております.特に,理学や工学の深い知見が求められる物理設計に係る技術に強みがあります.

プロセスシミュレーション

ナノ・マイクロデバイスは,成膜,エッチングなど,様々な工程(プロセス)を経て作製されます.プロセスを一つ一つ計算機の上で辿り,最終的な出来上がり形状を作り上げるのが,プロセスシミュレーションです.昨今は,3 次元の複雑形状を有するデバイスが増えてきているため,出来上がり形状の評価や3次元デザインルールチェック(DRC)を早期に行うことが重要になってきています.
当社は,Voxel 法に基づく形状シミュレータ ParadiseWorld-2や詳細な物理モデルに基づくシミュレータ(リソグラフィシミュレータなど)を有しており,複雑化するプロセスインテグレーションを強力に支援致します.

成膜時のボイド解析 SADP における短絡検出 近接露光リソグラフィシミュレーション

(左) 成膜時のボイド解析 / (中央) SADP における短絡検出 / (右) 近接露光リソグラフィシミュレーション

デバイスシミュレーション

ナノ・マイクロデバイスは,微細化や新材料の導入によって,その性能は日々向上しています.しかし,その一方で,信頼性や安全性を担保することも重要です.そのため,設計時には,シミュレーションを活用して,様々な側面からナノ・マイクロデバイスの特性が解析されています.

昨今は,消費電力を減らす「省エネ」だけでなく,電力を生み出す「創エネ」の重要性も高まっているため,環境発電デバイスの解析も行っております.

配線網のLCR抽出(GDS-II→プロセスシミュレータによる形状生成→自己容量の抽出)

社会シミュレーション

当社では,科学技術分野で培った豊富なシミュレーション技術やデータ解析技術を用いて,社会シミュレーションの受託開発も承っております.

交通シミュレーション(ミクロマクロ)

需要交通量と信号制御情報をもとにシミュレーションを行い,平均旅行時間や,渋滞長,交通量といった統計量を得ることができます.交通シミュレーションを活用することによって,信号制御アルゴリズムの評価・検証や交通規制による影響の検証を行うことができます.

交通シミュレーションの活用

ロボットシミュレーション

仮想空間内でのエージェントによるロボットシミュレーション.センサを備えたロボットの行動をエージェントモデルとして記述することで,人間とロボットのインタラクティブな相互作用について考察を行うことができます.

CAE

30 年以上に渡るナノ・マイクロシミュレーションで培ってきた数値計算技術と理学・工学の知見をベストミックスさせて,CAE分野の実問題に取り組んでおります.

制御シミュレーション

制御シミュレーションで扱う対象は,ロボットやモータといった機械から,神経系や身体といった生体まで,多岐に渡ります.当社では,ヒトの腕を制御対象として,MATLAB 上で動作する順動力学シミュレータを開発しました.

ヒトの腕の制御シミュレーション

熱解析シミュレーション

電子機器の小型化に伴って,熱設計の重要性が高まっています.当社では,任意の形状の物体に対する熱分布の時間変化を計算するソルバを開発しております.熱分布は,弊社製の3次元ビューワで可視化できます.

CADデータ変換

昨今は,同じ CAD モデルを複数のツールに掛けて,多角的に解析を行うことが増えてきています.しかしながら,CAD データの形式はツールによって多種多様であるため,データ変換は避けて通れません.当社では,ボクセルデータを,種々のCADデータに変換するツールを開発/販売しております.

上記の他に,電磁界解析シミュレータ数値計算ライブラリの開発実績もございます.

高性能計算(HPC・GPU)

コンピュータのマルチコア化,クラスタの普及,およびクラウドサービスの展開により,従来よりも並列計算が身近なものになってきています.また,スーパーコンピュータの利用を考えた場合も,並列計算への対応が欠かせません.最近では,GPGPUも一般的になっています.これらの技術を元に「より早い計算」を実現するためのサポートを行っております.

GPGPUによる疎行列ソルバの高速化

GPGPUによる疎行列ソルバの高速化

逆問題解析

通常のシミュレーションは,「支配方程式」と「種々の条件」から「応答」を求めるものです.この際に課す条件には,初期条件,境界条件,負荷があります.その一方で,あらかじめ「応答」が分かっていて,それから「支配方程式」や「種々の条件」を求めたい場合もあります. このような問題は,通常のシミュレーションとは入力と出力が逆になっており,逆問題解析と呼ばれます.
当社では,最適化を用いた逆問題解析ソリューションを提供しております.「最適化ソルバ」と「シミュレータ」の間でデータのやり取りを行うことで求解を行う black box 法だけでなく,偏微分方程式制約付き最適化(PDE constrained optimization)という新しい枠組みを用いた all at once 法 にも対応しております.お客様が解かれたい問題を分析した上で,その特性にあった手法をご提案致します.

逆問題解析

逆問題解析と通常のシミュレーションの違い

コンサルティング
株式会社NTTデータ数理システムはパッケージソフトの提供のみならず、科学技術計算の受託およびコンサルティング、さらには各業態に合わせたソフトウエアのカスタマイズ、トータルシステムの受託開発まで承っております。
  • 開発プラットフォーム:Windowsをはじめ、Unix/LinuxおよびMacOS Xまで幅広く対応しています。
  • 開発言語:Fortran、C/C++/C#/Objective-C、Javaなどの各種言語、Perl/Ruby/PHPなどのスクリプト言語の他、最新の言語にも対応いたします。
  • 開発環境:VisualStudioの他、Eclipseなどによる開発も行なっています。

詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

関連パッケージソフトウェア

株式会社NTTデータ数理システムの提供する半導体・LSI・MEMSシミュレーションのためのパッケージソフトウェアです。
※クリックして詳細な製品情報をご覧ください。

PARADISEWORLD-2 ―最新の半導体CADパッケージ

PW2

マスクパターンとプロセスの組み合わせにより、LSIの形状作成を実時間でシミュレーションするツールです。3次元版も追加利用可能となっております。


LiCRSIM ―高速大規模線形回路シミュレータ

LiCRSIM

大規模寄生インダクタンスを含む回路をSPICEと同精度で数百倍高速に解析するツールです。



MEMSpice -MEMS用連成解析ツール

MEMSpice

MEMS構造部と制御電子回路の連成計算により、MEMSデバイス全体の挙動を解析するツールです。部品ベースの為、設計パラメータの値を振ったパラメトリックな解析に適しています。


プロセス逆問題解析ツール

invProb

MEMSのプロセスフローを逆向きに辿ることにより、入力された目的形状を実現する最適なマスクパターン・プロセス条件を導くソフトウェアです。

これらのソフトウエアパッケージのデモンストレーションは随時行っておりますので、是非お問い合わせください。

お問い合わせ
株式会社NTTデータ数理システムでは、長年にわたりビジネスの現場で科学技術計算の業務に携わってきた専門スタッフを数多く擁しており、この経験と知識を皆様のビジネスのために役立てたいと願っております。 科学技術計算に関する、さまざまなご相談をお待ちしております。
E-mail : msi-info@msi.co.jp
TEL : 03-3358-6681